Заседание секции № 5 Ученого Совета ФИЦ ПХФ и МХ РАН

Повестка: 

Рассмотрение и оценка результатов работ по НИР “Разработка ПАВ для безметального проявителя, использующегося в процессах фотолитографии с проектными нормами 180-90 нм и ниже, и освоение его микротоннажного производства”,

 шифр “ПАВ”, выполняемой по проекту № 23-91-01015 от 29 ноября 2023г.”