Одной из ключевых задач для российской микроэлектронной промышленности остаётся переход на отечественные материалы. Одновременно развитие микро- и особенно наноэлектроники требует поиска новых материалов, в том числе низкоразмерных, на основе которых можно создать принципиально новую элементную базу. А также разработки эффективных методов их диагностики.

  ✅ На секции №13 «Материалы микро- и наноэлектроники, диагностика материалов и элементов электронной компонентной базы» форума “Микроэлектроника” обсудим – в том числе, и с сотрудниками нашего ФИЦ – новые перспективные материалы с уникальными физическими свойствами и развитие новых методов диагностики.

Будем говорить о разработке резистов для технологических процессов фотолитографии, электронно-лучевой, ионно-лучевой литографии, рентгеновской литографии и многом другом.

Узнать о программе и докладах секции