Ученые Федерального исследовательского центра проблем химической физики и медицинской химии РАН (ФИЦ ПХФ и МХ РАН) представили свои ключевые разработки на международном форуме «Микроэлектроника-2025». В третий день форума, посвященный научной программе, исследователи выступили с серией докладов на секции «Материалы микро- и наноэлектроники».

Специалисты Центра охватили широкий спектр критически важных направлений — от создания литографических материалов до корпусирования готовых микросхем.

Ключевые устные доклады:

• Георгий Малков представил масштабный обзор компетенций ФИЦ ПХФ и МХ РАН в создании материалов для микроэлектроники, продемонстрировав многолетний опыт центра.
• Александр Аккуратов рассказал о разработке новых компонентов для литографических материалов, которые необходимы для перспективной органической и гибридной электроники.
• Владимир Курбатов поделился результатами создания полимерной основы для i-line фоторезистов — материала, без которого невозможен современный процесс фотолитографии.
• Александр Тарасов представил разработку российского аналога поверхностно-активного вещества (ПАВ) для экологичных безметальных проявителей, что важно для импортозамещения.
• Кирилл Пахомов доложил о практическом результате — разработке и запуске серийного производства материалов для корпусирования микросхем, то есть их защиты.
• Алиса Бороздина выступила с докладом о новых электронно-лучевых резистах на основе сополимеров, используемых в высокоточных методах литографии.

На следующий день в формате стендовых докладов молодые ученые Центра представили свои работы:

• Кристина Букреева — о создании полимерной основы для негативного резиста.
• Екатерина Давыдова — о технологии синтеза эпоксидных олигомеров для применения в электронике.

Активное участие делегации ФИЦ ПХФ и МХ РАН в форуме наглядно показывает готовность центра к решению амбициозных задач по импортозамещению и тесному сотрудничеству с промышленностью для технологического развития России.