Повестка:  Рассмотрение и оценка результатов работ по НИР "Разработка ПАВ для безметального проявителя, использующегося в процессах фотолитографии с проектными нормами 180-90 нм и ниже, и освоение его микротоннажного производства",  шифр …

Читать далее «Заседание секции № 5 Ученого Совета ФИЦ ПХФ и МХ РАН»